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LED产业的特种气体技术发展趋势市场

随着化合物半导体技术的日益成熟和产业化进程的加快，外延技术需要的超纯特种气体和有机源的研制和制造技术不断提升。主要表现在：气体和有机源的深度纯化技术；气瓶及管路内壁的洁净处理技术；ppm、ppb、ppt气体杂质检测技术；ppb、ppt级金属杂质的净化控制及分析检测技术；排放尾气的解1毒报警技术；一体化无污染供气系统的建立；特种气体混合气的配制技术；配套器件技术以及0.01~0.002μm颗粒的测试过滤技术等。为了适应日益发展的下游产业的发展需要，特种气体生产商在产品纯化、灌装、检测等环节取得更多的创新技术。

随着近年来国防工业、科学研究、自动化技术、精密检测，特别是微电子技术的发展，特种气体行业新兴起来。特种气体是工业气体中的一个新兴门类，特种气体厂家直销，从应用领域划分，主要有电子气体、高纯气体、标准气体三大类。

近年来，随着下游应用领域的逐步扩展，特种气体的品种也与日俱增，郑州特种气体，据不完全统计，我国已有的特种气体达260余种。随着非低温气体分离技术（吸附、膜分离）、混配技术和提纯技术的发展，特种气体批发，更多的特种气体产品将逐步走向市场。电子气体主要分为氢化物（超纯氢、硅1烷、磷烷等），氟化物（六氟化硫、三氟化氮、四氟1化硅等），碳氟化合物（四氟化碳、六氟乙1烷等）。目前，我国电子气体品种基本齐全，但数量和质量与发达国家相比，尚有较大差距。随着半导体和微电子工业的迅猛发展，对电子气体的品种、数量、质量及纯度提出了更高的要求。

特种气体产品供应有代表性的公司为美国Air Product、Praxair、德国Linder、法国AirLiquid、日本酸素等，特种气体哪家好，这些公司的产品在国际电子气体的市场占有主要份额。国内特种气体的研究开发取得了一定的成绩，形成产业化的还很少，使得绝大多数产品仍然依赖进口。在国家“863”项目的支持下，公司生产的高纯氨产品纯度99.99999%以上，可以替代进口产品，应用在氮化jia生产中。

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